当超声波进入溶液时，会产生交变压力。用于空化阀值的声波在液体中传播时会产生空化气泡，可以显著提高气体从溶液到气泡的传质率。空化气泡是由溶液中的微小气核产生的，由声波稀相的拉应力(负压)产生。
如果空化后的拉伸应力仍然存在，时空气泡将膨胀到其原始尺寸的许多倍。在这种情况下，空化气泡保持球形，然后生长、振动和坍塌。当超声波效应时，溶液中的气体成分可以通过汽液界面“定向蔓延”进入空化泡，空化泡进入生长阶段。当溶液表面的空化气泡坍塌时，气体从气泡中逸出，导致脱气。
超声波脱气设备的特点是泡沫是大量气泡的集成。超声波脱气设备应在泡沫产生的早期阶段，气泡不是大量积累的液体消泡、除气、溶解、混合在液体气体中消泡、除气。整个过程不使用任何消泡剂，完全是物理消泡，也可以称为机械消泡。对于已经产生的表面泡沫，设备没有明显的效果，用消泡膜解决。
超声波主要用于脱气“定向蔓延”，一旦发生空化，内部仍有气体，在一些熔化液体脱气净化应用中不产生空化。排出液体气体，降低超声波空化反应产生的气泡阻力，提高超声波清洗机的清洗效率。另一个影响是超声波清洗机长时间工作会产生超声波疲劳，降低清洗效果和效率，排氧气功也可以消除这种超声波疲劳。
