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近二十年来，氮化镓基发光二极管取得了飞跃式发展，并实现了大规模的产业化生产。氮化镓基发光二极管由于其高效、节能、环保等优越性能，将取代现有的白炽灯、荧光灯、卤化灯等而成为主流的固态照明工具。
然而，同质外延生长所需的高质量GaN衬底的价格昂贵且远不能满足大规模生产的需求。现有的外延衬底大部分仍是蓝宝石，由于蓝宝石与GaN材料存在晶各失配和热失陪等缺点，这阻碍了GaN晶体质量的提高，从而导致了GaN的发光器件性能的进一步提高。大量研究表明，图形化蓝宝石衬底有利于降低晶体的位错密度和应力释放，从而大大改善GaN晶体的质量和GaN的发光器件性能。
蓝宝石衬底的常规清洗方法：
在正常的室温下，有机溶剂超声清洗，以及加热条件下，丙酮浸泡。
实施本发明的蓝宝石衬底清洗方法，取消了传统清洗方法中使用的三氯乙烯试剂，减少了环境污染，避免人员中毒，在清洗过程中，使用超声波和加热清洗，可节省清洗时间，提高清洗效率和质量。工艺简单、操作方便，满足环保要求。
然而，使用超声波清洗机清洗蓝宝石衬底，是利用了超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。
蓝宝石衬底清洗用超声波设备类型中的光学超声波清洗机：
深圳洁泰超声洗净设备有限公司为光学超声波清洗机，设备共有14个功能槽，配置有循环过滤系统、有机溶剂蒸馏回收系统、自动恒温系统、抛动系统、超声波清洗系统、抽风装置、环保液前处理系统、慢拉脱水、热风烘干等。设备采用环保型有机溶剂洗涤、水溶剂洗涤、纯水漂洗、离心烘干为环保型清洗机。是蓝宝石衬底在清洗设备上值得首要考虑的。
热风烘干槽：
结构：每个烘干槽配置一套气缸
加热系统结构：
1、外置式不锈钢加热箱；
2、内设不锈钢加热管，功率12KW，配OMRON数显式温控系统，监控箱内热风温度，温控范围：～120℃。
FFU压风系统：
结构：在烘干槽正上方的机架顶部设置一个FFU层流送风单元。由上往下吹风形成负压风，致使工件加热后附着物不易粘附。
功能：因慢拉槽液温较高，如无顶部的FFU压风，大量的水汽将往上腾，水气会再次附着于提出的蓝宝石衬底上；安装FFU后，可在上方形成局部正压，大部分水气从缸面的抽气口抽走。
其实，也有很多对干净后的蓝宝石衬底样品选择进行旋转吹干处理。深圳洁泰超声洗净设备有限公司的甩干机的基本工艺操作流程简单概述下：
开机—参数设置—装入样品—启动，执行工艺流程—启动，执行工艺流程—过程结束，取出样品。
